景德镇医院万级无尘室专业规划设计
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,
温度与湿度的要求不同的工业产品对车间所需要的温度和湿度都有所不同,而且也有着严格相关的规定。一般的参考值是温度可以在17-25摄氏度之间,湿度控制在28%到60%之间。而且负责的人员应当对温度和湿度进行及时的观测和记录,记录的间隔要在3小时之内。如果天气有很大的变化时,要及时调整记录,并调整车间内的温湿度。紫外灯的使用要求在当天下班之后,人员都离开了车间,应该开启紫外灯杀菌。要持续照射30分钟左右。而且要根据紫外灯的使用情况,进行及时的更换。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。工业洁净车间管道布置的一般原则管路的布置类型一般有如下几种:埋地敷设管路;管沟敷设管路;沿地敷设管路;架空敷设管路。在管道布置设计时,首先要统一协调工艺和非工艺管的布置,然后按工艺流程并结合设备布置、土建情况等布置管道。