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开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。
净化工程通俗称为无尘车间、净化车间、洁净室等名称；其主要原理是将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在所需求范围内。主要是对洁净度、温度、湿度的控制，提升作业环境，提高产品良率。无尘净化车间包含6个部分，分别是:1.天花板系统，包含主梁和无尘室顶部部门；2.空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等；3.隔墙板:包括窗户、门；4.地面:比如防静电地面、以及环氧自流平及滚涂地面；5.照明器具:包括日光灯等；6.无尘室之建筑主体构造:一般可以用钢筋或骨水泥，近年来人们发现了的主体构造，那就是工业铝型材。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
无尘布洁净车间厂家认为单向流动主要依靠洁净气流推动和置换室内和区内的污染空气，维持室内和区内的清洁。因此，其送风段的风速和均匀度是影响洁净度的重要参数。更高、更均匀的截面风速可以更快、更有效地处理室内过程中产生的污染物，因此是关注的主要检测项目。非单向流动主要是依靠送进来的洁净空气来稀释和冲淡室内和区域的污染物，以维持其洁净度。所以换气次数越多，气流组织越合理，稀释效果越明显，洁净度越高。因此，非单相流洁净室和洁净区的送风量和相应的换气次数是主要的气流测试项目。