汕头医院10万级净化车间专业规划设计
无尘室吸尘器注意事项打开筒盖检查储尘袋是否扎紧，吸口处是否系牢，并盖好筒盖。普通型（非防爆类）机器严禁在易燃易爆场所使用，严禁吸收导体类或半导体类粉末。标识有干用的机器，严禁吸集液体。非材料滤袋，不可吸有燃着的火种及超高温废料。在没有集尘袋、尘隔的情况下严禁使用，否则将直接导致风机损坏。当集尘袋、尘隔发生破损情况下，应及时进行更换，不可继续使用。一般来说，纤维布料集尘袋能反复使用，直至破损要及时更换；白尘隔可清洗，一般使用寿命在一年；HEPA过滤网可以通过压缩空气疏通，平均寿命也在一年左右。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心，是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间，其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净，而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室，按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐（矢）流洁净室等。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU