深圳化工万级无尘室专业规划设计
关于过滤器，装置方向有必要正确:用波纹板组合过滤器在竖向装置时，波纹板有必要笔直于地上；过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。替换过滤器要注意的疑问，替换前要整理风口箱体里面的杂物和其他的物质，装置时要直接接触过滤器的滤纸，损坏过滤器滤纸。过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
FFU风机过滤单元FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元(机组)"，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的为:过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，品牌普遍适应"中国环境因素"，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想;而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准，并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比。