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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设,冷热管要隔开布置,在垂直排列时,热介质管在上,冷介质管在下;无腐蚀性介质管在上,有腐蚀性介质管在下;气体管在上,液体管在下;不经常检修管在上,检修频繁管在下;高温管在上,低温管在下;保温管在上,不保温管在下;金属管在上,非金属管在下。水平排列时,粗管靠墙,细管在外;低温管靠墙,热管在外,不耐热管应与热管避开;无支管的管在内,支管多的管在外;不经常检修的管在内,经常检修的管在外;高压管在内,低压管在外;输送有腐蚀性介质的管道,不得在人行通道上方设置阀件、法兰等,以免渗漏伤人;输送介质的管道,不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处;管道通过防破区时,墙壁应采取措施封固,蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
关于日常的,每天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液擦拭机台、桌面、门窗、墙壁等.每3天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液对洁净室内设施表面及顶棚、照明等表面进行擦拭, 3%~5%的来苏儿对地面进行,目的是杀死因生产过程中产生的细菌繁殖体,控制洁净室内微生物含量.这些措施仅能控制洁净室内空气中的细菌量及杂菌种类,如果霉菌较多,就要先用5%石碳酸quan面喷洒室内,然后用甲醛熏蒸才能达到无菌效果,而且只有这样才能杀死细菌、杂菌芽孢.每个生产周期结束,下个周期生产前对有无菌要求的洁净室行液,检测洁净室内尘埃粒子数符合规定后,再对洁净室内进行甲醛气体熏蒸,从长期检测的结果来看,这种环境灭菌方法效果很好.