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目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上， 现在洁净室温湿度要求为22±2℃，45±5%RH，当然根据生产工艺的需求，对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示，其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;
无尘车间是指在一定空间内清除空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物，并对室内温度、洁净度、室内压力、风速及气流组织、噪声、振动、照明、静电等进行治理。控制在一定的要求范围内，并给予专门设计的房间。无尘车间室内空气经过处理后，颗粒物含量不足一定数量，一般分为10万、1万、1000个。也就是说，房间里每立方米空间里的粒子数不超过10万个、1万个和1000个。成千上万的…目前无尘车间已广泛应用于电子、光学、仪器、注塑等行业。
无尘净化板车间的优势，防尘，防静电，抗菌等效果；有一定的耐腐蚀性，洁净室通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用消毒水、酒精等消毒，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变色、脱落、恒远使用宝钢、冠洲等优质耐腐蚀原材料，板材使用更持久；还具有很好的抗氧化性，不产生锈蚀，整体来说净化板有平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等优点。
化学式净化方式光催化法 工作原理:空气通过光催化空气净化装置时，光触媒在光的照射下自身不起变化，却可以促进化学反应的物质空气中的有害物质如甲醛、苯等在光催化的作用下发生降解，生成无害的物质，而空气中的细菌也被紫外光除掉，空气因此得到净化。 缺点:广谱但需要空气流速较低，净化速度比较慢并且对人体有一定的辐射，在欧美是被汰的净化方式。 甲醛清除剂 工作原理:是采用化学物质和甲醛进行化学反应，达到清除甲醛的目的