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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的要素。
机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思为空气过滤器,达到HEPA标准的过滤网,对于0.3微米的达到99.998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。静电式净化方式工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴线在高压静电的作用下,产生电晕放电,电晕层中产生大量的负离子,负离子在静电场的作用下,不断地向阳运动。当空气中粉尘通过电场时,粉尘受到负离子的碰撞带上电荷,带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用,向阳(集尘)运动,到达阳后释放电荷。 缺点:可去除飘尘(不能去除毒害气体),效能比机械式低、慢,而且易产生臭氧,此机型被美国市场评为差净化器。
净化车间为工作人员提供健康的工作环境调节控制空气至合适的温湿度,为生产人员提供舒适的生产劳动环境,也是产品生产质量的需要。净化车间空气污染随着人们意识的增强,环境质量标准一再提高,产品生产过程中会产生各种粉尘,如果直接排入大气中,不但会污染车间内的空气,而且也不符合国家环境保护标准。净化车间对净化工程的发展有着的重要作用。车间的净化施工和改造,已经成为了众多医、电子、食品企业所关注的工作。