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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的要素。
那么,在无菌车间中,实现空间的无菌要求是室内环境控制的关键。通常有两种方法来控制微生物的生长,杀死或去除微生物,一种是化学的,另一种是物理的。其中,化学方法包括化学剂、汽化过氧化氢、臭氧和环氧乙烷;物理方法包括湿热灭菌或干热灭菌、辐射灭菌和过滤灭菌。
在更室内,按照进入进的方法,反向操作,穿上室内鞋走出更室。穿好无尘服后才能进入手间,严禁手不进入净化车间。出入净化车间时,开关门时应轻推轻关,且门不能对开。以上每违反一条,每次从工资中扣10元,违反人员的直属上司扣管理费用2元。无尘服的存放与管理无尘服按要求定期清洗,每班清洗1次(使用时)。无尘服脏、破、清洗不干净时均要申请更换,更换时均要以旧换新。存放无尘服的区域保持干净,除无尘服外不能存放物品。