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初，确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展，人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以等速流动的意思”，并认为能力抑制涡流的发生。通过全空间的清洁空气的单向流特性占支配的那样的房间，也称为单向流洁净室。这就是说，不要求在整个房间都具有单向平行的流线，均匀的速度，没有涡流，而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配，例如在整个工作区这一层空间了单向流，这个房间就是单向流洁净室。前面介绍过的国内外有关标准、措施中关于单向流洁净室达到的高洁净度，就是指在工作区内达到的洁净度。因此，密集布置的流线型散流器顶送和全孔板顶送，也被作为实现垂直单向流的手段使用。
随着科技的与日发展，生产制造业其对空气洁净度的要求主要是从产品加工的精密化、产品的微型化、产品的高纯度、产品的性四个方面提出来的。产品加工的日渐精密化。现代产品的加工精度已经进入到了亚微米量级，而且正在向着更小的量级发展。产品的日渐微型化。原来体积为几千立方厘米的电子装配件，现在缩减到了零点几立方厘米。产品的日渐高纯度。今天的各种超纯材料，都在高纯度基础上才能使原材料充分发挥其固有特性，或者呈现出新的特性。
为了达到目标温湿度控制点，其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内，先降温去湿，再加热。在Zone 2的范围内，先降温，再加湿。在Zone 3 的范围内，先加热，再加湿。在Zone4 的范围内，先降温去湿，再加热。定义:D—控制对象含湿量，T—控制对象温度。通常情况下， 对于设定值温度22±2℃，湿度45±5%RH 而言，Zone1 和Zone3的情况比较多，即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。