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洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的核心标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准,一些净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于化通行标准的净化,净化能力和环境适应力远超品牌。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内,这也就是业内俗称的1K级别。随着我国电子工业飞速发展以及产品供过于求,各项产品竞争日趋激烈,打赢这场竞争关键是产品质量和价格:洁净度是电子产品生产前提条件,而低成本则是产品价格基础。下面介绍一下我们在此方面一些管理经验,以供大家参考。 洁净度管理 我们生产车间要求空调洁净度为3000(英制,下同)及5000级,安装厂家调试时均按实际设汁数据确定,如:过滤器出口为lm/s左右风速;回风口为2m/s左右风速,起初投产及中批量生产时,洁净度能达到要求。调试厂家撤离后,随着产量增加,洁净度逐渐达不到要求,加之设备改造升级,实际产量超过设计产量时洁净度问题更加突出,部分工位洁净度甚降到100万级;且该区域周围大面积洁净度超标,公司由于担心出现产品质量问题一度停产,外方专家对超标原因进行各种推测,没有找到原因。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
初,确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室,但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展,人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以等速流动的意思”,并认为能力抑制涡流的发生。通过全空间的清洁空气的单向流特性占支配的那样的房间,也称为单向流洁净室。这就是说,不要求在整个房间都具有单向平行的流线,均匀的速度,没有涡流,而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配,例如在整个工作区这一层空间了单向流,这个房间就是单向流洁净室。前面介绍过的国内外有关标准、措施中关于单向流洁净室达到的高洁净度,就是指在工作区内达到的洁净度。因此,密集布置的流线型散流器顶送和全孔板顶送,也被作为实现垂直单向流的手段使用。