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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
负小)、O(零)、PS(正小)、PM(正中)、PB(正大)。模糊的偏差变化率EC 的语言值集合也有七种取值,分别是NB (负大)、NM(负中)、NS(负小)、O(零)、PS(正小)、PM(正中)、PB (正大)。模糊规则库是由若干个模糊“if-then”规则的总和组成，它是模糊系统的核心部分，系统其他部分的功能在于解释和利用这些模糊规则来解决具体问题。在模糊规则控制器中编辑模糊控制规则,不同的模糊控制器一般有不同的模糊控制规则,因为模糊控制规则实质上是将操作员的控制经验加以总结而得出一条条模糊条件语句。在本次实际设计中，共采用了49
非单向流净化车间非单向流的净化原理是靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡，即稀释原理。具体来讲，就是利用干净气流的混合稀释作用，把室内含尘浓度很高的空气稀释，使室内污染源所产生的污染物质均匀扩散并及时排出室外，降低室内空气的含尘浓度，使室内的洁净度达到要求。非单向流净化车间的气流流型又可分为顶送下回、顶送下侧回、顶送顶回等。一般形式为过滤器送风口顶部送风；回风的形式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。非单向流净化车间的特性包括:换气次数，与舒适性空调相同；气流组织，即能均匀地送风和回风，充分发挥洁净气流的稀释作用，要求单个风口有的扩散作用，整个净化车间室内风口布置均匀，数量尽可能多，要尽量减少涡流和气流回旋；自净时间，室内从某污染状态降低到某洁净状态所需要的时间，自净时间越短越好。非单向流净化车间自净时间一般不超过30min。
后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。