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洁净室按其气流状态来区分，主要分为乱流（非单向流）洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室（也有称矢流洁净室的），这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出，不论是哪一种洁净室，都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢？乱流洁净室的名称是借用于日文，但是日文的乱流就是紊流的意思，而中国早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。上惯称这种洁净室为非单向流洁净室。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，
进入无尘车间知道的事情。进入无尘车间要穿干净的鞋子，不能带油渍、污泥在里面；室内不准吸烟、饮食；焊接、切割、钻孔等多尘作业。加以控制，以碎片广泛扩散。每天工作结束时，应将垃圾搬出房间，倒入指定的地方；建筑材料堆放整齐；禁止在室内小便；违反以上规定者，立即取消无尘车间工作资格。无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理，可采用亚过滤器代替过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、过滤器三级过滤器;中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。