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将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b)，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
出风口的温度控制在22℃，这样，经过工作层面后温度将会再上升，在机台满载的情况下上升温度会基本稳定。温湿度控制中的常见问题的温湿度处理过程中，为了解决问题，通常采用湿度优先的方法，冷水阀主要用来，同时也造成温度的下降，然后通过热水阀的再热，使温湿度均能达到所要求的值。这样的做法虽然可以满足设计要求，但在相当多的时候，冷热水阀使能量相互抵消，造成了能源的浪费。另外，如果进入洁净室的新风温度过高，将导致整个洁净室的热负荷加大，DCC
温度与湿度的要求不同的工业产品对车间所需要的温度和湿度都有所不同，而且也有着严格相关的规定。一般的参考值是温度可以在17-25摄氏度之间，湿度控制在28%到60%之间。而且负责的人员应当对温度和湿度进行及时的观测和记录，记录的间隔要在3小时之内。如果天气有很大的变化时，要及时调整记录，并调整车间内的温湿度。紫外灯的使用要求在当天下班之后，人员都离开了车间，应该开启紫外灯杀菌。要持续照射30分钟左右。而且要根据紫外灯的使用情况，进行及时的更换。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。