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目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，
无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。
在精密机械加工和计量等场合，为了因热膨胀而引起的误差，使工件保持一定的温度（temperature)。工件温度的允许波动幅度应根据加工精度决定。例如，在恒温室里对一根长500mm的标准尺刻线，工艺允许线间公差为2um，其中lum为尺温变化所引起的形变误差，另1um为加工与量测误差。1um折合尺温变化量＝0。20C[a为尺线膨胀系数，取10／um／(m?K)；l为尺长，m]，故工件温度变化需在以内。但由于工件测量仪器等都有一定的热惰性，空气温度的波动传人工件后，就要衰减。在设计恒温系统时，一般总是以恒定环境空气温度为依据，故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
房间的洁净度取决于单位时刻的换气次数，因而慎密思考房间的作业性质，以及生产工艺请求，再决议净化体系的技术参数。为了确保气流简直不受搅扰，就有必要进行构造计划，必要的谨慎能够避免房间里地方的尘埃积。要断定计划方案，有必要先对房间的作业性质以及其间的气流条件进行仔细的思考，发尘量大的车间不宜选用地上送风方法，洁净度请求高的车间应尽也许远离其它车间。作为洁争室顶棚，墙面和地板的资料有必要是不宜破裂、不易沾颗粒，以及简直不起尘的资料，别的依据房间不一样的作业条件，还有必要考滤资料的化学功用是不是安稳。