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所谓乱流洁净室,一般包括以下各种送风形式:过滤器顶送(有扩散板和无扩散板流线型散流器顶进具有这些送风形式的洁净室,如以雷诺数判断,显然属于紊流流态,但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送,室内速度达到0.25m/s 以上,这种室内的流动状态也是紊流,但在后面就会搞清楚,虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态,但是就其净化室内空气的原理来说,却是根本不同的,后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室,则后者也应被包含进去了。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内,这也就是业内俗称的1K级别。随着我国电子工业飞速发展以及产品供过于求,各项产品竞争日趋激烈,打赢这场竞争关键是产品质量和价格:洁净度是电子产品生产前提条件,而低成本则是产品价格基础。下面介绍一下我们在此方面一些管理经验,以供大家参考。 洁净度管理 我们生产车间要求空调洁净度为3000(英制,下同)及5000级,安装厂家调试时均按实际设汁数据确定,如:过滤器出口为lm/s左右风速;回风口为2m/s左右风速,起初投产及中批量生产时,洁净度能达到要求。调试厂家撤离后,随着产量增加,洁净度逐渐达不到要求,加之设备改造升级,实际产量超过设计产量时洁净度问题更加突出,部分工位洁净度甚降到100万级;且该区域周围大面积洁净度超标,公司由于担心出现产品质量问题一度停产,外方专家对超标原因进行各种推测,没有找到原因。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思为空气过滤器,达到HEPA标准的过滤网,对于0.3微米的达到99.998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。静电式净化方式工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴线在高压静电的作用下,产生电晕放电,电晕层中产生大量的负离子,负离子在静电场的作用下,不断地向阳运动。当空气中粉尘通过电场时,粉尘受到负离子的碰撞带上电荷,带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用,向阳(集尘)运动,到达阳后释放电荷。 缺点:可去除飘尘(不能去除毒害气体),效能比机械式低、慢,而且易产生臭氧,此机型被美国市场评为差净化器。