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无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
洁净衣物材料的基本条件是洗涤或其他处理后不会产生灰尘，布料不易燃烧和起毛，其织造方法或布料的组织不易通过污染物，不粘附污染物。此外，摩擦后不会产生静电或很小的起电，易清洗再生，不易起皱，佩戴舒适感等也可考虑选用。风帽材质为无尘纸或无纺布，帽子材质与干净衣服相同。磨损和使用时，除了眼睛和面部的表面暴露外，其他部位需要覆盖。头部与外套的连接处也覆盖，头发不能暴露。无尘车间鞋子应该穿着合脚舒适。