成都玻璃10万级净化车间20年装修经验公司
增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….以此类推,配合公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,度的等级为Class 1,差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
在单向流洁净室内,干净气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用,而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,达到净化室内空气的目的。所以,前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞,沿着房间这个“气缸”,向前(下)推进,而使尘粒只能前(下)进,没有返回,把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。