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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
无尘服严禁有乱穿、乱放等现象。具体参照QG-19《洁净服和无菌工作服管理制度》进行。以上每违反一条,每次从工资中扣10元,违反人员的直属上司扣管理费用2元。无尘服、口罩须完整无破洞,手袖、裤管锁口处不能有松脱现象。无尘服穿戴整齐,带好口罩,头发不能外露。口罩遮住嘴、鼻,以防唾液污染洁净空间。不能佩带首饰等与生产无关物进入车间, MP3、MP4、收音机等电子产品不允许带
1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。100级很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。100级无尘室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植入体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌敏感的病人的隔离治比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。