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初,确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室,但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展,人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以匀速流动的意思”,并认为能力抑制涡流的发生。全空间的清洁空气的单向流特性占支配房间,也称为单向流洁净室。这就是说不要求在整个房间都具有单向平行的流线,均匀的速度,没有涡流,而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配。在整个工作区这一层空间了单向流,这个房间就是单向流洁净室。
无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
净化车间压差值的选择应适当,选择过小,净化车间压差易被破坏,洁净度受到干扰;选择过大,HVAC系统新风量增大,负荷增加,过滤器寿命缩短。因此,净化车间压差值大小应合理确定(对一般净化车间为正压,生物学净化车间为负压)。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的,即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和,其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度,如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等,这些将影响到漏风量的大小,使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统,还是循环空气系统,通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量(余风量)之间达到平衡便建立了压差。