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条“if-then”规则,根据这些规则,得出如表1 所示的模糊控制规则表:模糊推理将模糊规则库中的模糊“if-then”规则转换成某种映射,即将输入空间上的模糊集合映射到输出空间上的模糊集合。根据这些规则进行模糊推理得到一个模糊集,即模糊控制量U, 再通过去模糊化环节,将其转化为清晰的数字控制量,达到调节MAU 温度设定的目的。洁净室相对湿度控制洁净室相对湿度的控制则由MAU
净化工程垂直单向流洁净室的标准在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。
单向流净化车间的性能特性包括:流线平行度,即流线平行的作用是尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播,如果流线是渐变流的曲线,那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面1.05m处的平面的交点之间的连线,与水平方向的倾角应大于65°;乱流度(速度不均匀度),即速度场的集中或离散程度,速度场均匀对于单向流净化车间是其重要的,不均匀的速度场会增加速度的脉动性,促进流线间质点的掺混;下限风速,即净化车间能控制各种污染的较小风速,下限风速是指净化车间能控制以下四种污染的较小风速:当污染气流多方位散布时,送风气流要能有效控制污染的范围。不仅要控制上升高度,还要控制横向扩散距离;当污染气流与送风气流同向时,送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围;当污染气流与送风气流逆向时,送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内;在全室被污染的情况下,要能以合适的时间迅速使室内空气自净。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。