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洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU
因此，在确定恒温室参数(parameter)和选择自动控制时，考虑工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自控系统之间的动态特性。防尘车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。在电子行业制造车间是重要产生静电的地方，通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故，所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%，这样即可以减少静电的产生，通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。无尘室优点:构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。过于干燥的空气中易粉尘飞扬，电子厂无尘车间无要求的情况下，温度控制在22℃左右，相对湿度控制在55～60%RH之间，在这种环境下，人们感觉舒适，静电也消失了。
阀门选用也应考虑不积液的原则，宜使用清洗灭菌方便的旋塞、球阀、隔膜阀、卫生蝶阀、卫生截止阀等。洁净室管道应视其温度及环境条件确定热条件。冷保温管道的保温层外壁温度不得低于环境的露点温度；管道保温层表面须平整、光洁，不散发颗粒，热性能好，材料要易施工，并宜用金属外壳保护。洁净室(区)内的配电设备的管线应暗敷，进入室内的管线口应严格密封，电源插座宜采用嵌入式。洁净室及其技术夹层，技术夹道内应设置灭火设施和消防给水系统。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。