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无尘布洁净车间厂家认为压差测试应在门关闭的情况下从高压向低压开始,从平面布置上离室外zui远的内室开始,然后依次向外测试;相邻洁净室(区)有不同等级的相互连通的孔洞,孔洞应有合理的气流方向等等。无尘布洁净车间厂家认为压差检测要求:静压差的测量要求洁净区的门都关闭。在洁净平面上,应按照洁净度由高到低的顺序进行,直至检测到通向室外的房间。测量喷嘴可以位于室内不受气流影响的位置,测量喷嘴表面与气流流线平行。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心,是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间,其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净,而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室,按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐(矢)流洁净室等。
出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较,通过PID控制算法,得出一个计算值,根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小,其控制流程与温度控制类似,同时也引入了分程控制,避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性,在设置PID