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开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外,并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。
医疗器械GMP车间:对非无菌植入性医疗器械或运用前预期灭菌的医疗器械,假如经过确认的产品清洗、包装进程,能将污染下降并坚持一致的操控水平,医疗器械GMP车间施工,应树立一个受控的环境来包括该确认的清洗和包装进程.打印包装净化车间:食物包装和品包装对空间环境的温湿度、空气中的微尘粒子数量、水质质量方面请求都很高,直接影响到商品质量和合格率.( CleanRoom),亦称无尘车间、无尘室或清净室。是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过的(如没有受控的微生物),更多的是关心空气传播的灰尘。净室被广泛地应用在对环境污染敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制、医院 等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、 洁净度要求尤其严格、故其控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。
净化工程通俗称为无尘车间、净化车间、洁净室等名称;其主要原理是将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在所需求范围内。主要是对洁净度、温度、湿度的控制,提升作业环境,提高产品良率。无尘净化车间包含6个部分,分别是:1.天花板系统,包含主梁和无尘室顶部部门;2.空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等;3.隔墙板:包括窗户、门;4.地面:比如防静电地面、以及环氧自流平及滚涂地面;5.照明器具:包括日光灯等;6.无尘室之建筑主体构造:一般可以用钢筋或骨水泥,近年来人们发现了的主体构造,那就是工业铝型材。