惠州电子净化工程设计专业规划设计
1级:这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的jing确要求为亚微米.10级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业.100级:很多人认为,这yi级无尘车间是zui常用因而是zui重要的无尘车间,人们常常错误地将100级无尘车间称为无菌室,以说明"无菌"的或"无尘"的环境要求,100级无尘室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗.
无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。
洁净室(区)内各种管道,在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洗的部位。管道内壁应光滑,管道设计要减少支管、管件、阀门和盲管。为便于清洗、灭菌,需要清洗、灭菌的零部件要易于拆装,不便拆装的要设清洗口。无菌室设备、管道要适应灭菌需要,输送无菌介质的管道应采取灭菌措施或采用卫生薄壁可拆卸式管道。管道与阀门连接宜采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件,采用法兰连接时宜使用不易积液的对接法兰、活套法兰。凡接触物料的法兰和螺纹的密封应采用聚四氟乙烯,液体的输送管路的安装尽量减少连接处,密封垫宜采用硅橡胶等材料。
出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较,通过PID控制算法,得出一个计算值,根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小,其控制流程与温度控制类似,同时也引入了分程控制,避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性,在设置PID