唐山电子10万级净化车间专业规划设计
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，
洁净衣物材料的基本条件是洗涤或其他处理后不会产生灰尘，布料不易燃烧和起毛，其织造方法或布料的组织不易通过污染物，不粘附污染物。此外，摩擦后不会产生静电或很小的起电，易清洗再生，不易起皱，佩戴舒适感等也可考虑选用。风帽材质为无尘纸或无纺布，帽子材质与干净衣服相同。磨损和使用时，除了眼睛和面部的表面暴露外，其他部位需要覆盖。头部与外套的连接处也覆盖，头发不能暴露。无尘车间鞋子应该穿着合脚舒适。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
的，需经主管领导签字同意后主可进行。操作人员作业操作，要按作业指导书上的规定作业。以上每违反一条，每次从工资中扣除5元，违反人员的直属上司扣管理费用2元。出入净化车间人员均须按此条例执行，行政部门监督执行情况。对违反条例者，如属故意行为，视情况及态度给予以责任人相关的处罚。净化区内所生产的产品净化车间空气净化方式物理式净化方式吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体(杂质)充分接触，从而赋予了活性炭所的吸附性能，使其容易达到吸收收集杂质的目的'。就象磁力一样，的分子之间都具有相互引力 缺点:普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体，效率较低、易脱附。