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依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
因此,在确定恒温室参数(parameter)和选择自动控制时,考虑工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自控系统之间的动态特性。防尘车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。在电子行业制造车间是重要产生静电的地方,通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故,所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%,这样即可以减少静电的产生,通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。无尘室优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。过于干燥的空气中易粉尘飞扬,电子厂无尘车间无要求的情况下,温度控制在22℃左右,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种环境下,人们感觉舒适,静电也消失了。
无尘车间和净化车间均可应应用到微电子、光电子、电子加工、精密机械、食品等行业看到这里相比大家都有很大的疑问?净化车间和无尘车间的区别到底在哪里?其实无尘车间和净化车间并没有本质上的区别,只是叫法上的不同而已,本篇文章中列举的三个方面已经实了。所以无尘车间就是净化车间。无尘洁净系统对十万级洁净车间的作用十万级洁净车间的结构设计,为了使气流能够顺畅流通不受干扰,要进行必要的结构设计,避免有地方可以积累灰尘;
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。