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层流罩一种可提供部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体,风机,初效空气过滤器,空气过滤器。阻尼层,灯具等组成,箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个联接组成带状洁净区域。洁净区内的配电箱(柜)根据要求不同,可采用明装或暗装方式安装。其暗装结构形式类似于通风柱井或结构包柱。配电箱的进出线选用低压电缆,电缆的选择应符合技术要求。例如30kVA、50kVA变压器的配电箱的进线使用VV22-35×4电缆,分路出线使用同规格的VLV22-35×4电缆;80kVA、100kVA变压器的配电箱的进线分别使用VV22-50×4、VV22-70×4电缆,分路出线分别使用VLV22-50×4、VLV22-70×4电缆,其电缆与铜铝接线鼻压接后再用螺栓与配电箱内接线桩头连接。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内,这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器,对过滤能力,吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置,对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um,吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
期超过两天以上的要定时清理,对可以不存放在净化车间的物品和无用物品要及时清理。物品要存放有序,原材料放在原材料缓冲间中,清洁用具放在清洁间中,生产使用的容器与器皿,在未使用时应存放在清洗间中,同时应分类并加以标识。控制普通纸在净化车间内使用,禁止在净化车间内使用非净化用品,如使用时,应放在回风口附近。在净化车间工作时,若产品须暂存放,应放在货架上的指定区域,对禁止存放在地面上。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。