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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。静电式净化方式工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴线在高压静电的作用下，产生电晕放电，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳(集尘)运动，到达阳后释放电荷。 缺点:可去除飘尘(不能去除毒害气体)，效能比机械式低、慢，而且易产生臭氧，此机型被美国市场评为差净化器。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b)，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。