长春线路板洁净室检测议专业规划设计
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
所示,程序运行后,将获得新的SP。基本的模糊控制系统如图8 所示。系统中的模糊控制器是两输入一输出的,其输入量是系统的偏差E 和偏差变化率EC, 而这两个量具有确定的数值,是两个清晰量。整个模糊控制器由四个部分组成:模糊化,模糊规则库,模糊推理及去模糊化。模糊化的作用是将一个确定的点映射为输入空间的一个模糊集合。通过模糊化处理,得到模糊的偏差量E以及模糊的偏差变化率EC。其中模糊的偏差量E 语言值集合有七种取值,分别是NB(负大)、NM(负中)、NS(
条“if-then”规则,根据这些规则,得出如表1 所示的模糊控制规则表:模糊推理将模糊规则库中的模糊“if-then”规则转换成某种映射,即将输入空间上的模糊集合映射到输出空间上的模糊集合。根据这些规则进行模糊推理得到一个模糊集,即模糊控制量U, 再通过去模糊化环节,将其转化为清晰的数字控制量,达到调节MAU 温度设定的目的。洁净室相对湿度控制洁净室相对湿度的控制则由MAU