贵州玻璃洁净车间20年装修经验公司
一般洁净室效果图乱流洁净室原理洁净室按其气流状态来区分,主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也称矢流洁净室)。乱流洁净室的名称是借用于日文,现在上则惯称这种洁净室为非单向流洁净室。所谓乱流洁净室,一般包括以下各种送风形式:过滤器顶送(有扩散板和无扩散板);流线型散流器顶进;侧送:具有这种送风形式的洁净室,如以雷诺数(指在流体运动中惯性力对黏滞力比值的无量钢数Re=UL/ν。其中U为速度特征尺度,L为长度特征尺度,V为运动学黏性系数)判断,显然属于紊流流态,但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送,室内气流速度达到0.25m/s以上,这种室内的流动状态也是紊流,但在后面就会搞清楚,虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态,但是就其净化室内空气的原理来说,却是根本不同的,后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室,则后者也应被包含进去了。
无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
控制算法得出的计算值分为两部分,0-48%及52(%)-100%,它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管,这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费。同时,在冷热水切换的交界处48%-52%,设置了死区,即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时,热水阀和冷水阀都处于关闭(阀开度都为0)的状态,以避免冷热水在临界状态时不停地切换,加速了执行机构的损坏,同时又能减少能源的消耗。为了避免和温度之间的耦合关系,新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值,而是通过和温度设定值综合计算后得出其对湿度,以露点温度或含湿量来表示。本文以露点温度为例。将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU