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10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。合景净化工程公司认为,洁净室不是于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)
无尘车间(洁净室)等级大体可以分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小,洁净等级越高。10级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体工业。百级洁净室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一洁净室净化工程大量应用于,手术室,包括移植手术,集成器的制造、隔离病房等等。注意控制污染源,主要是人和进入无尘车间的物品,以及生产过程中发生的尘粒。人净路线和物净路线要合理的分开。人员在进车间前沐浴更衣,着装符合洁净标准;物料在进车间前更换包装吹淋,确保洁净度符合要求。
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心,是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间,其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净,而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室,按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐(矢)流洁净室等。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU