北京电子无菌室专业规划设计
按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设,冷热管要隔开布置,在垂直排列时,热介质管在上,冷介质管在下;无腐蚀性介质管在上,有腐蚀性介质管在下;气体管在上,液体管在下;不经常检修管在上,检修频繁管在下;高温管在上,低温管在下;保温管在上,不保温管在下;金属管在上,非金属管在下。水平排列时,粗管靠墙,细管在外;低温管靠墙,热管在外,不耐热管应与热管避开;无支管的管在内,支管多的管在外;不经常检修的管在内,经常检修的管在外;高压管在内,低压管在外;输送有腐蚀性介质的管道,不得在人行通道上方设置阀件、法兰等,以免渗漏伤人;输送介质的管道,不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处;管道通过防破区时,墙壁应采取措施封固,蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心,是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间,其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净,而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室,按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐(矢)流洁净室等。
对于来流的洁净度,对通过以上过滤器送风你的单向流洁净室来说是不成问题的,而对于来流的“活塞流”情况,则需做进一步分析。根据来流体力学原理,来流条件对优化的流动状况将产生直接影响,送风面出口气流也就是工作区的来流。来流的紊动性大,则将影响后面的单向流特性;来流末充满流动截面,则将影响是否能形成“活塞流”和形成的快慢;而来流末充满流动截面也是来流紊动的一个因素。所以,在采用过滤器的条件下,单向流洁净室特性的必要条件是“活塞流”,而“活塞流”的必要条件则是来流充满流动截面。但是,对一间房间而不是一段管道来说,让气流从头至尾充满流动截面也是不现实的。