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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
进入无尘车间了解的事,1.进入无尘车间应穿干净鞋具,不得带油渍、污泥入内;2.室内不得吸烟、饮食和饮水;3.焊接、切割、凿洞等有尘作业加以控制,碎屑大范围扩散,每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;4.施工材料堆放整齐;5.室内严禁大小便;6.有违犯以上规定者,应立即取消在无尘车间工作的资格。针对于厂房来说,车间的布置都是有一定要求的,根据洁净车间布置的一般要求来看,所生产的产品不一样,那么洁净区的设置也是不一样,各方面环境卫生都是要有条有理的。装修板材那种好,我们知道针对于不同地方的使用,选择的材料肯定是不一样的,下面我们一起来看看装修的板材有哪些。
为了达到目标温湿度控制点,其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内,先降温去湿,再加热。在Zone 2的范围内,先降温,再加湿。在Zone 3 的范围内,先加热,再加湿。在Zone4 的范围内,先降温去湿,再加热。定义:D—控制对象含湿量,T—控制对象温度。通常情况下, 对于设定值温度22±2℃,湿度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情况比较多,即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。