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将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b)，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU
单向流净化车间的性能特性包括:流线平行度，即流线平行的作用是尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播，如果流线是渐变流的曲线，那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面1.05m处的平面的交点之间的连线，与水平方向的倾角应大于65°；乱流度（速度不均匀度），即速度场的集中或离散程度，速度场均匀对于单向流净化车间是其重要的，不均匀的速度场会增加速度的脉动性，促进流线间质点的掺混；下限风速，即净化车间能控制各种污染的较小风速，下限风速是指净化车间能控制以下四种污染的较小风速:当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围。不仅要控制上升高度，还要控制横向扩散距离；当污染气流与送风气流同向时，送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围；当污染气流与送风气流逆向时，送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内；在全室被污染的情况下，要能以合适的时间迅速使室内空气自净。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室，非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。简言之，非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。