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不同行业的洁净室单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。所以这样的洁净室的建造和运行费用要高得多。不同类型洁净室原理整理:单向流（层流）洁净室原理在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上进风静压箱和过滤器的均匀流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行，是指流线彼此平行，方向单一。
净化车间压差值的选择应适当，选择过小，净化车间压差易被破坏，洁净度受到干扰；选择过大，HVAC系统新风量增大，负荷增加，过滤器寿命缩短。因此，净化车间压差值大小应合理确定（对一般净化车间为正压，生物学净化车间为负压）。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的，即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和，其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度，如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等，这些将影响到漏风量的大小，使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统，还是循环空气系统，通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量（余风量）之间达到平衡便建立了压差。
洁净室内的灰尘主要来自于室内流动的 空气及在室内活动的人体。当设备条件 确定后，提高洁净度也就是要求大限度地将人体产生的微小尘埃控制在衣服内，不让它穿过面料进入到空气中去由于是在洁净室内穿着，要求面料不能成 为洁净室中的发尘源，这就决定了超净面料 只能用化学合成的长 纤维来生产。而棉、麻、 丝等天然短纤维不能应用于超净面料，虽然 这些原料可以使面料的服用性更佳。同时要求所选用的化纤长丝也要严格控制 发尘量。一般来讲，全消光涤纶长丝不适合 于织防静电超净面料。因为涤纶生产中加入 的消光剂-钛白粉会成为污染源。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。