天津电子注塑净化车间专业车间施工团队
无尘车间,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。单向流(层流)洁净室原理在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上进风静压箱和过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一。
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的要素。
初,确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室,但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展,人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以等速流动的意思”,并认为能力抑制涡流的发生。通过全空间的清洁空气的单向流特性占支配的那样的房间,也称为单向流洁净室。这就是说,不要求在整个房间都具有单向平行的流线,均匀的速度,没有涡流,而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配,例如在整个工作区这一层空间了单向流,这个房间就是单向流洁净室。前面介绍过的国内外有关标准、措施中关于单向流洁净室达到的高洁净度,就是指在工作区内达到的洁净度。因此,密集布置的流线型散流器顶送和全孔板顶送,也被作为实现垂直单向流的手段使用。