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10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。合景净化工程公司认为,洁净室不是于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
洁净室的污染源可分为外污染源及内污染源:外污染源主要包括空调送风、 间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体等;内污染源则包括制程 设备、工作人员、工具、隔间材料、工作桌、加工材料等,其对生产环境的污染净化工程:控制室内空气悬浮粒子的浓度,对室内温度、湿度、压力等按技术要求进行控制;洁净厂房墙壁和顶棚的表面应按要求达到平整、光滑、不 起尘,避免眩光,便于除尘,并减少凹凸面;洁净室地面平整、耐磨、易清洗, 不易积聚静电,避免眩光,不开裂;施工要求对结构、风管制作环境洁净度要求 高;人流、物流的控制严格。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".一般通过围护结构组成一个相对密闭的空间,然后用洁净送风机组把经过多级过滤,并调节了温湿度的空气通过过送风管道送入此空间(通常在送风机箱内有初效中效两道过虑,末端有过滤),同时通过回风系统把空间内的空气抽送回洁净送风机组.当然还要混入一定的新风,否则不断封闭循环人会很闷甚至闷死.