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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
空气洁净度等级空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的高低可以用空气洁净度等级来区分。空气洁净度级别则以每立方米空气中的允许微粒数来确定。洁净室(区)是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间(限定的空间),房间(空间)的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子等,房间(空间)内其它相关参数如温度、相对湿度和压力按要求进行控制。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内,这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器,对过滤能力,吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置,对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um,吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
关于过滤器,装置方向有必要正确:用波纹板组合过滤器在竖向装置时,波纹板有必要笔直于地上;过滤器在竖向与结构之间的连接,禁止渗漏、变形、破损和漏胶等,装置后有必要确保内壁清洁,无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。替换过滤器要注意的疑问,替换前要整理风口箱体里面的杂物和其他的物质,装置时要直接接触过滤器的滤纸,损坏过滤器滤纸。过滤器在竖向与结构之间的连接,禁止渗漏、变形、破损和漏胶等,装置后有必要确保内壁清洁,无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。