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依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的小货物传递，可有效的减少洁净室门的开启次数，把洁净区的污染减少的程度。根据使用要求，传递窗箱体表面可喷塑，内胆可用不锈钢，外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置，可有效的低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内，是净化车间必备佳品。无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的部净化。洁净工作台可以在操作台的部空间形成无菌、无尘的部净化，其主要组成部件有预过滤器、过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面;箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封，缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区;风机、电机，选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施;灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流;预过滤器，须设置预过滤器，容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于50Pa;过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的部净化。洁净工作台可以在操作台的部空间形成无菌、无尘的部净化，其主要组成部件有预过滤器、过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面;箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封，缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区;风机、电机，选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施;灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流;预过滤器，须设置预过滤器，容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于50Pa;过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。