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出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,
洁净室(区)内各种管道，在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洗的部位。管道内壁应光滑，管道设计要减少支管、管件、阀门和盲管。为便于清洗、灭菌，需要清洗、灭菌的零部件要易于拆装，不便拆装的要设清洗口。无菌室设备、管道要适应灭菌需要，输送无菌介质的管道应采取灭菌措施或采用卫生薄壁可拆卸式管道。管道与阀门连接宜采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件，采用法兰连接时宜使用不易积液的对接法兰、活套法兰。凡接触物料的法兰和螺纹的密封应采用聚四氟乙烯，液体的输送管路的安装尽量减少连接处，密封垫宜采用硅橡胶等材料。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
洁净室又称无尘车间、净化车间，众所周知，环境污染主要是工业污染导致的。其中，空气污染和水污染一方面对人们的身心健康造成危害，另外一方面也会危害加工过程和产品品质。随着经济社会的迅速发展，是以微电子、生物科技、高精密机加为代表的科学试验和高技术生产流程，对企业产品精加工的洁净室总结得出，空间环境对加工过程的影响如下:对加工过程产生重要影响室内环境是牵制工业化生产，是高技术生产能不能进行的首要条件之一。比如，在微电子行业的芯片生产过程中，对微观粒子的控制要达标分子级，不然生产就不能进行，或者生产加工出残品；在抗菌素的生产环境中，要是存在一些微生物菌种，生产就无法正常进行。