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开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外,并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。
10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。合景净化工程公司认为,洁净室不是于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)
测量高度距离地面约1.2米,洁净室面积在15平方以下者,可只测室中心1点。面积在15平方米以上,还应再测对角4点,距侧墙各1米,测点朝向各角。测点平面离地面0.8米左右,按2米间距布点,30平方米以内的房间测点距边墙0.5米,超过30平方米的房间测点距离墙面1米。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面,采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面,或采用不锈钢做台面;箱体,用热扎薄钢板与骨架气焊易变形,可采用冷轧薄板折边搭接,大电流电焊,内表面需粘贴消声材料,(zui)大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封,缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同,尽量减少盲区;风机、电机,选用高压低噪的小型风机,风机与箱体的连接采用软连接,电机及风机均应采取减振措施;灯罩,日光灯要尽量设置在灯罩内,灯罩内要通过洁净气流;预过滤器,须设置预过滤器,容量要大,在使用风量下,初阻力宜小于50Pa;过滤器,尽量采用大面积的过滤器,减少空气过滤器的数量,过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。