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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
控制算法得出的计算值分为两部分，0-48%及52(%)-100%，它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管，这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费。同时，在冷热水切换的交界处48%-52%，设置了死区，即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时，热水阀和冷水阀都处于关闭(阀开度都为0)的状态，以避免冷热水在临界状态时不停地切换，加速了执行机构的损坏，同时又能减少能源的消耗。为了避免和温度之间的耦合关系，新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值，而是通过和温度设定值综合计算后得出其对湿度，以露点温度或含湿量来表示。本文以露点温度为例。将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
管道材料应根据所输送物料的理化性质和使用工况选用。采用的材料应满足工艺要求，使用，不吸附和污染介质，施工和维护方便；引入洁净室(区)的明管材料应采用不锈钢；输送纯化水、注射用水、无菌介质和成品的管道材料、阀门、管件宜采用低碳不锈钢(如含碳量分别为0.08% 、0.03%的316钢和316L钢)，以减少材质对制品和工艺水质的污染。中净环球净化可提供洁净车间、净化厂房的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。