湖南医院洁净车间专业车间施工团队
净化车间压差控制方法基于压差建立的原理,对其影响因素进行有效控制或调节,以便保持净化车间压差的稳定。净化车间压差控制方法分为人为干预调节和自动化控制。人为干预调节净化车间压差方法定期检查并维护洁净厂房围护结构气密性,尽量减少漏风量;定期清洗或更换过滤器,系统正常阻力。回风口控制:是简单而又行之有效的方法,通过调节回风口上的百叶格栅或空气阻尼层改变其阻力来调整回风量,达到压差控制的目的。因百叶的调量不大,还会改变气流方向,所以这种方法只能是粗调。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
为了达到目标温湿度控制点,其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内,先降温去湿,再加热。在Zone 2的范围内,先降温,再加湿。在Zone 3 的范围内,先加热,再加湿。在Zone4 的范围内,先降温去湿,再加热。定义:D—控制对象含湿量,T—控制对象温度。通常情况下, 对于设定值温度22±2℃,湿度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情况比较多,即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。