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根据物料性质的不同，管道应有一定坡度。其坡度方向一般为顺介质流动方向(蒸汽管相反)，坡度大小为:蒸汽0.005，水0.003，冷冻盐水0.003，生产废水0.001，蒸汽冷凝水0.003，压缩空气0.004，清净下水0.005，一般气体与易流动液体0.005，含固体结晶或黏度较大的物料0.01。管道通过人行道时，离地面高度不少于2m；通过公路时不小于4.5m；通过工厂主要交通干道时一般应为5m。长距离输送蒸汽的管道，在一定距离处应安装冷凝水排除装置，长距离输送液化气体的管道，在一定距离处应安装垂直向上的膨胀器。
将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b)，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU