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后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。
无尘布洁净车间厂家认为洁净室或洁净设施的温湿度测量通常分为一般测试和综合测试两个等级。一般适用于空载状态下的验收试验，综合适用于静态或动态综合性能试验。这种测试适用于对温度和湿度有严格要求的场合。无尘布洁净车间厂家认为该测试在气流均匀性测试和空调系统调整后进行。在该测试时，空调系统处于运行状态，条件都很稳定。每个湿度控制区域配备至少一个湿度传感器，并给传感器的稳定时间。测量应适合实际使用目的，待传感器稳定后再开始测量，测量时间不得少于5分钟。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
一般洁净室效果图乱流洁净室原理洁净室按其气流状态来区分，主要分为乱流（非单向流）洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室（也称矢流洁净室）。乱流洁净室的名称是借用于日文，现在上则惯称这种洁净室为非单向流洁净室。所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式:过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）；流线型散流器顶进；侧送:具有这种送风形式的洁净室，如以雷诺数（指在流体运动中惯性力对黏滞力比值的无量钢数Re=UL/ν。其中U为速度特征尺度,L为长度特征尺度，V为运动学黏性系数）判断，显然属于紊流流态，但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送，室内气流速度达到0.25m/s以上，这种室内的流动状态也是紊流，但在后面就会搞清楚，虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态，但是就其净化室内空气的原理来说，却是根本不同的，后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室，则后者也应被包含进去了。