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无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下，还应该考虑（consider)到人的舒适感。因为人出汗以后，对产品将有污染，是怕钠(Sodium)的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故，相对湿度在50%时易生锈。下面我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺。
十万级洁净车间防静电环氧树脂地板工程。十万级洁净车间结构装修要点十万级洁净车间、更衣室内围护隔断和天花采用50mm厚的聚苯乙烯加芯彩钢板，吊顶高度为2.5米。十万级洁净车间内采用铝合金彩钢板单门、双门。人员进入洁净区经过换鞋间、更衣室、缓冲间进入。十万级洁净车间的地面采用防静电环氧树脂地板。无尘车间清洁要求如下:清洁洁净室墙壁时，应使用洁净室无尘布；用90%去离子水和10%异丙醇配制洗涤剂；
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心，是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间，其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净，而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室，按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐（矢）流洁净室等。
出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID