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引入洁净室(区)的支管宜暗敷,各种明设管道不得出现不易清洁的部位,洁净室内的管道应排列整齐,尽量减少洁净室内的阀门、管件和管道支架;各种给水管道宜竖向布置,在靠近用水设备附近横向引入,尽量不在设备上方布置横向管道,水在横管上滞留;从竖管上引出支管的距离宜短,一般不宜超过支管直径的6倍;排水竖管不应穿过洁净度要求高的房间,须穿过时,竖管上不得设置检查口,管道弯曲半径宜大不宜小。地下管道应在地沟管槽或地下埋设,技术夹层主管上的阀门、法兰和接头不宜设在技术层内,其管道连接应采用焊接,这些主管的放净口、吹扫口等均应布置在技术夹层之外。穿越洁净室的墙、楼板、硬吊顶的管道应敷设在预埋的金属套管中,管道与套管间应有密封措施。
1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。100级很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。100级无尘室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植入体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌敏感的病人的隔离治比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU