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在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流的推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”，前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“汽缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。
什么是无尘净化车间，洁净无尘车间就是用具有净化功能的板材，搭建的车间，其有多样的板型，耐用、安装简单、可循环利用，被很多净化车间所选择。无尘净化板车间的优势，防尘，防静电，抗菌等效果；有一定的耐腐蚀性，洁净室通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用水、酒精等，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变、脱落、恒远使用宝钢、冠洲等耐腐蚀原材料，板材使用更持久；还具有很好的抗氧化性，不产生锈蚀，整体来说净化板有平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等优点。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。