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出风口的温度控制在22℃,这样,经过工作层面后温度将会再上升,在机台满载的情况下上升温度会基本稳定。温湿度控制中的常见问题的温湿度处理过程中,为了解决问题,通常采用湿度优先的方法,冷水阀主要用来,同时也造成温度的下降,然后通过热水阀的再热,使温湿度均能达到所要求的值。这样的做法虽然可以满足设计要求,但在相当多的时候,冷热水阀使能量相互抵消,造成了能源的浪费。另外,如果进入洁净室的新风温度过高,将导致整个洁净室的热负荷加大,DCC
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
无尘车间洁净室,亦称为无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力。洁净技术,是指对象(产品、人 及动物)在被加工、处置、治疗、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物 (影响对象的加工、处置、治疗等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术,是一门以生产与研究工作受环境因素的干扰和影响,保护产品或研究对象不受有害物质污染为核心内容的新兴技术。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。