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引入洁净室(区)的支管宜暗敷,各种明设管道不得出现不易清洁的部位,洁净室内的管道应排列整齐,尽量减少洁净室内的阀门、管件和管道支架;各种给水管道宜竖向布置,在靠近用水设备附近横向引入,尽量不在设备上方布置横向管道,水在横管上滞留;从竖管上引出支管的距离宜短,一般不宜超过支管直径的6倍;排水竖管不应穿过洁净度要求高的房间,须穿过时,竖管上不得设置检查口,管道弯曲半径宜大不宜小。地下管道应在地沟管槽或地下埋设,技术夹层主管上的阀门、法兰和接头不宜设在技术层内,其管道连接应采用焊接,这些主管的放净口、吹扫口等均应布置在技术夹层之外。穿越洁净室的墙、楼板、硬吊顶的管道应敷设在预埋的金属套管中,管道与套管间应有密封措施。
进入净化车间的工作人员不能涂指甲油,不能化妆或喷香水,进入净化车间前要洗手,有脚臭者,上班之前要洗脚再来上班。体表有伤口者不得从事直接接触产品的生产检验工作。以上每违反一条,每次从工资中扣净5元,违反人员的直属上司扣管理费用2元。各岗位员工按管理坚守自己的岗位,不得离岗、串岗、打闹、打瞌睡,不得坐在地板和生产用具上。净化车间内禁止快步走、跑步、打闹、嬉戏等现象。净化车间内禁止吃、喝东西(除水外),禁止抽烟,禁止明火,禁止动火,确需动火
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。